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La tecnica di deposizione PMCS si basa su di una sorgente pulsata dove il gas immesso nella camera della sorgente (vedi figura) ionizzandosi erode il catodo durante una scarica tra i due elettrodi. Il plasma formatosi viene raffreddato velocemente dall’immissione di ulteriore gas. Ciò porta alla condensazione del materiale in cluster. Un ulteriore processo di condensazione avviene nel nozzle della sorgente prima dell’espansione supersonica. Immettendo un gas reattivo contenente per esempio ossigeno si possono formare cluster derivati dai prodotti di reazione.
Questo tipo di sorgente è stata usata per la deposizione di materiali a memoria di forma (leghe Ti-Ni) per la deposizione di film nanostrutturati di ossido di titanio per applicazioni sensoristiche [1] o per la realizzazione di memristor [2], anche con una notevole biocompatibilità verso tessuti neuronali [3].
[1] A. M. Taurino, S. Capone, A. Boschetti, T. Toccoli, R. Verucchi, A. Pallaoro, P. Siciliano, S. Iannotta
Titanium dioxide thin films prepared by seeded supersonic beams for gas sensing applications
Sensor and Actuators B: Chemical, 100, (2004), 177
[2] G. Baldi, M. Bosi, G. Giusti, G. Attolini, T. Berzina, C. Collini, L. Lorenzelli, R. Mosca, P. Nozar, J. S. Ponraj, T. Toccoli, R. Verucchi, S. Iannotta
Optimization of Synthesis Protocols to Control the Nanostructure and the Morphology of Metal Oxide Thin Films for Memristive Applications
AIP conference proceedings, 1648 (2015) 28002 1-4
[3] Roncador, A.M. Jimenez-Garduño, L. Pasquardini, G. Giusti, N. Cornella, L. Lunelli, C. Potrich, R. Bartali, L. Aversa, R. Verucchi, M. Dalla Serra, S. Caponi, S. Iannotta, P. Macchi, C. Musio
Primary cortical neurons on PMCS TiO2 films towards bio-hybrid memristive device: A morpho-functional study
Biophysical Chemistry 229, 115–122 (2017)
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