Materiali e Tecnologie per Green Energy
Referente: Mazzer Massimo
Evaporazione

Evaporazione termica

E' una tecnica di crescita fisica (PVD) che sfrutta l’effetto Joule; una crogiolo metallico contenente il materiale da evaporare viene fatto attraversare da una corrente elettrica di notevole intensità. Il materiale sublima grazie al calore prodotto e sotto forma di vapore raggiunge il substrato. Poiché le particelle arrivano al substrato con pochissime collisioni con le molecole di gas residuo presenti, la distanza tra sorgente e substrato può essere notevole, il che permette di avere camere di deposizione relativamente grandi che non risentono molto dell’irraggiamento. Il difetto principale di questo metodo risiede nel fatto che il crogiolo tende ad introdurre contaminazioni nel materiale costituente il deposito.

Evaporazione da cannone elettronico

Anch'essa fa parte delle tecniche PVD e si basa sul riscaldamento di un filamento che genera ed emette una corrente elettronica; il fascio di elettroni generato viene accelerato con una tensione elevata e indirizzato con un campo magnetico verso un crogiolo contenente il materiale da evaporare (generalmente altofondenti), nel quale l’energia cinetica degli elettroni viene quindi dissipata in calore. Rispetto all’evaporazione termica si hanno meno contaminazioni nel film, in quanto l’evaporazione avviene a livello più locale nel materiale, lasciando il crogiolo ad una temperatura relativamente più bassa.